阳极膜线性离子源工作原理
发布时间：
2018/12/20
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阳极膜离子源是一种具有闭合电子迁移和发射沟道的冷阴极离子源，其主要组成部分包括磁路、阴极、阳极、布气机构和驱动电源等部分。其中离子发射沟道和阳极被磁路所包围。放电沟道内具有很强的磁场，将电子约束在其中，在正交的电场和磁场的作用下，电子在沟道内进行闭环迁移并形成电子流。闭环迁移的电子与气体发生碰撞时，气体电离为离子和电子。当直流正电位施加在阳极上时，阳极表面形成电场，在此电场作用下，离子被加速发射出放电沟道形成离子束，离子束对基片进行轰击或蚀刻。
