离子源开启
发布时间：
2018/12/21
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离子源开启
1)打开冷却水
2)将真空室抽至本地压强
3)供给工作气体或反应气体，是真空室达到预定真空度
4)打开离子源驱动电源上电空气开关(电源箱背部)
5)打开离子源电源的总开关(面板)
6)将电流调节旋钮放置最小，占空比旋钮调至中间部位
7)打开离子源工作开关，逐渐增加放电电流，离子源将起辉
8)将离子源的工作电流设定至所需数值，离子源可长期稳定工作
9)当结束工艺工程，按下离子源关闭按钮，离子源结束工作
10)在整个系统结束工作后，关闭离子源电源面板开关和上电空开
11)调整工作状态
本离子源具有两种放电模式，第一种为聚焦放电模式，其特点为放电时出现明细的离子束，此时放电电压高，放电电流小。第二种为散焦放电模式，其特点为放电时等离子体发散至很大空间，未出现明细的离子束。
12)电源控制模式：恒流控制模式，即放电电流恒定，放电电压随其它参数变化而变化。
13)电源的占空比主要目的是调节离子源的工作状态，抑制离子源光放电对薄膜或基体的损伤。占空比增加，在相同条件下离子源达到的最大放电电流增加，弧光放电的抑制作用减小;反之，最大放电电流减小，弧光放电抑制作用增强。
14)离子源的放电电流与下列因素有关
其它工作状态相同时，放电电压越高，放电电流越大。
气体流量或真空度，气体流量越大，放电电流越大。
气体种类，气体电离能越低，放电电流越大。
