真空镀膜设备真空计选用时的注意事项
发布时间：
2018/12/21
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托里拆利制作的一端封闭充满水银的细长玻璃管就是最初的真空计。根据测量的真空度范围和使用环境，现在最常使用的真空计有电容式隔膜真空计、热电偶真空计、热阴极电离真空计和冷阴极电离真空计。这几种真空计利用了不同的物理现象，其中电容式隔膜真空计利用的是力，热电偶真空计利用的是热传导，电离真空计利用的是真空放电。选用真空计时应该注意以下事项：
(1)在设备要求的压强范围内，真空计是否有足够的测量精度;
(2)被测气体是否会对真空计造成损伤;
(3)真空计是否会对被测真空环境造成影响;
(4)真空计所测压强是全压还是分压，是否已校准，是否与气体种类有关;
(5)真空计能否实现连续测量，数值指示及反应时间如何;
(6)真空计的稳定性、可靠性、寿命。
