离子源维护


  维护

  当离子源用于清洗、表面改性和其他类似情况下,而不是在镀膜环境中,离子源可以在连续工作几百甚至上千小时,但在镀膜环境下,日常的清理对保证离子源的正常工作是必须的。具体的检查和维护方法如下:

  用棉布沿同一方向不抬起地擦拭离子源的放电沟道一周,在停止处观察是否有碎屑存在,如果有可以先用棉布擦拭清除即可。

  如果碎屑是导磁的,棉布很难将其清除,此时可以先用普通透明粘带将碎屑粘出,再用无水乙醇将该处反复擦拭,去除粘带所残留的有机物。

  用摇表检查阳极与阴极间的电阻大于1MΩ。

  因离子源内部安置很强的磁体,离子源拆卸时存在严重的安全问题,所有强烈建议用户不要擅自拆卸离子源。

探索真空设备电气研发的未来之路

2025-06-22

概要: 深入了解真空设备电气研发的最新技术与应用,助力高效产业进步。