电子枪主要技术参数
发布时间：
2018/12/06
来源：
1、电子束偏转角 270?
2、阳极电压 10KV
3、阴极加热电源 AC 3V+3V，60A可调
4、束流 直冷坩埚0～1A
5、坩埚容量(标准型)
6、磁场电源
X偏转电流 ±2A可调
扫描频率 10～250HZ
Y偏转电流 ±2A可调
扫描频率 10～250HZ
7、启动真空度 6.7×10-3Pa
8、坩埚定位(四孔坩埚) 电控自动或手动点控
9、坩埚冷却水
进水温度 ≤25℃
进水压力 ≥0.2MPa
水流量 ≥8L/min
10、电子枪体接地电阻 ≤4Ω
