真空系统专业术语
发布时间：
2018/12/16
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1、真空系统vacuum system
由真空容器和产生真空、测量真空、控制真空等的组件组成。
1.1、真空机组pump system：由产生真空、测量真空和控制真空等的组件组成。
1.2、有油真空机组pump system used oil ：用油作工作液或用有机材料密封的真空机组。
1.3、无油真空机组oil free pump system：不用油作工作液和不用有机材料密封的真空机组。
1.4、连续处理真空设备continuous treatment vacuum plant：能将处理研究的材料或工件连续地送入到真空容器 中，并 且又能从真空室输出而不必中断设备连续工序的一种真空设备。
1.5、闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：在不破坏真空情况下，能将工件或材料通过一个或若干个 真空闸室导入或导出的一种真空系统。
1.6、压差真空系统differentially pumped vacuum system：通过气体节流，使互相连接的各个室分别用单独真空 泵抽气以达到维持压差(压降或压力梯段)目的的一种真空系统。
1.7、进气系统gas admittance system：在规定的和控制的条件下，能将气体或气体混合物放入到真空系统的一种 装置。
2、真空系统特性参量
2.1、抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：在抽气装置进气口测得的抽速。
2.2、抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：流经抽气装置进气口的气体流量。
2.3、真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：由真空系统所有表面解吸气 体所产生的气体流量。注：在真空系统内部经常出现一种漏气假象。这种情况叫做“虚漏”。
2.4、真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：由于漏气渗入到真空系统中并影响真空容器中压 力的气体流量。
2.5、真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：在温度保持不变时，抽气系统关闭后， 在给定时间间隔内容器的压力升高量除以该时间隔之商。该商有可能不是恒定的。
2.6、极限压力ultimate pressure：泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。
2.7、残余压力residual pressure：经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气 体混合物(残余气体)的全压。在某些情况下残余压力等于极限压力。注：在真空技术中，“气体”一词按广 义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸汽。
2.8、残余气体谱residual gas spectrum：真空容器中残余气体的质谱。
2.9、基础压力base pressure：在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。注：在某些真空工艺中，例如表面的分 析，基础压力也称作为“本底压力”。
2.10、工作压力working pressure：在真空容器中为实施工艺所必需的压力(可能还有压力范围)。
2.11、粗抽时间roughing time：前级真空泵或前级真空抽气装置从大气压抽至基础压力或抽至在较低压力下工作的 真空泵的起动压力所需要的时间。
2.12、抽气时间pump-down time：将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到基础压力所需要的时间。
2.13、真空系统时间常数time constant of a vacuum system：将真空容器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的 时间。在抽速恒定时，该时间常数为容器体积除以抽气系统的抽速得出之商。
2.14、真空系统进气时间venting time：经过规定的装置放入的空气使真空系统(或真空容器)内的压力由工作压 力升高到较高的压力(一般到大气压)所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作为“通大气时 间”。
